В НТЦ «Техноцентр» ЮФУ в рамках проекта по ПП №218 была произведена разработка инерциальных микроэлектромеханических  (МЭМС) датчиков линейных ускорений (ДЛУ) и датчиков угловой скорости (ДУС).

Таблица 1. Параметры инерциальных МЭМС датчиков угловых скоростей

Параметр

Описание

Величина

Случайный дрейф нуля (ARW)

Определяется по методу Аллана

10

Дрейф смещения под влиянием вибрации

Диапазон вибрации 0-2000 Гц

30

Дрейф смещения под влиянием ускорения

Ускорения +/- 10g

30

Дрейф смещения под влиянием температуры

Диапазон температур -40… +85 °С

30

Смещение под действием ударов

Удар 5 000 g

40

Диапазон измеряемых угловых скоростей

 

+/- 300

Полоса пропускания

 

300 Гц

 

Таблица 2. Параметры разработанных датчиков линейных ускорений

Параметр

Описание

Величина

Динамический диапазон

Определяется по методу Аллана

10

Дрейф нуля

Диапазон вибрации 0-2000 Гц

0.005 g/час

Полоса пропускания

По уровню

300 Гц

Диапазон температур

 

-40… +85

 

Разработанный МЭМС элемент представляет собой интегрированную систему, изготовленную в объеме твердого тела, включающую в себя электрические и механические структуры.

  

При разработке МЭМС гироскопа и акселерометра были произведены следующие работы:

1. Аналитическое моделирование в среде MATLAB.
2. Создание трехмерной модели в CATIA v5.
3. Анализ методом конечных элементов в программном комплексе ANSYS.
4. Моделирование электронной схемы обработки на языке VHDL.
5. Исследование МЭМС структур.