В НТЦ «Техноцентр» ЮФУ есть опыт разработки микроэлектромеханических систем (МЭМС) датчиков ускорения (акселерометров) и угловой скорости (ДУС). В рамках предыдущих проектов были разработаны, промоделированы и реализованы в виде тестовых кристаллов несколько вариантов таких датчиков.

ЧЭ МЭМС ДУС 5 кГц

 mems dus 5khz  mems dus 5khz bw

Характеристика

Значение

Количество осей

1

Диапазон измерения угловой скорости

±300°/с

Полоса пропускания

80 Гц

Нестабильность смещения нуля

25°/ч

Случайное угловое блуждание

0,5 °/√ч

Габаритные размеры

5х5мм

 

ЧЭ МЭМС ДУС 10 кГц

 mems dus 10khz  mems dus 10khz bw

Характеристика

Значение

Количество осей

1

Диапазон измерения угловой скорости

±500°/с

Полоса пропускания

50 Гц

Нестабильность смещения нуля

25°/ч

Случайное угловое блуждание

0,5 °/√ч

Габаритные размеры

5х5мм

 

ЧЭ МЭМС ДУС 5 кГц

 mems dus 5khz 2  mems dus 5khz 2 bw

Характеристика

Значение

Количество осей

1

Диапазон измерения линейных ускорений

±300°/с

Полоса пропускания

100 Гц

Нестабильность смещения нуля

25°/ч

Случайное угловое блуждание

0,5 °/√ч

Габаритные размеры

5х5мм

 

ЧЭ МЭМС акселерометр 50g

 mems accel 50g  mems accel 50g bw

Характеристика

Значение

Количество осей

1

Диапазон измерения ускорения

±50g

Габаритные размеры

5х5мм

 

Разработаны структуры схем управления такими датчиками (ASIC), промоделирована работа таких схем и разработаны негабаритные макеты ASIC на дискретных компонентах и микроконтроллерах. Для оценки параметров таких датчиков и экспериментального определения параметров моделей погрешностей совместно с АОМЗ разработаны и отлажены специальные стенды (трёхосевые, одноосевые, с термокамерами и вибростендами).

stand 1ax

Рис. 1. Одноосевой стенд

stand 3ax

Рис. 2. Трёхосевой стенд

Совместно разработанное ПО позволяет на таких стендах проводить дистанционные измерения в течение длительного времени по изменяющимся программам.

Кроме того, специалисты НТЦ «Техноцентр» обладают опытом построения БИНС как автономного типа, так и гибридного, с коррекцией от спутниковых навигационных систем.