В НТЦ «Техноцентр» ЮФУ есть опыт разработки микроэлектромеханических систем (МЭМС) датчиков ускорения (акселерометров) и угловой скорости (ДУС). В рамках предыдущих проектов были разработаны, промоделированы и реализованы в виде тестовых кристаллов несколько вариантов таких датчиков.

ЧЭ МЭМС ДУС 5 кГц

Характеристика		Значение
Количество осей		1
Диапазон измерения угловой скорости		±300°/с
Полоса пропускания		80 Гц
Нестабильность смещения нуля		25°/ч
Случайное угловое блуждание		0,5 °/√ч
Габаритные размеры		5х5мм

ЧЭ МЭМС ДУС 10 кГц

Характеристика	Значение
Количество осей	1
Диапазон измерения угловой скорости	±500°/с
Полоса пропускания	50 Гц
Нестабильность смещения нуля	25°/ч
Случайное угловое блуждание	0,5 °/√ч
Габаритные размеры	5х5мм

ЧЭ МЭМС ДУС 5 кГц

Характеристика	Значение
Количество осей	1
Диапазон измерения линейных ускорений	±300°/с
Полоса пропускания	100 Гц
Нестабильность смещения нуля	25°/ч
Случайное угловое блуждание	0,5 °/√ч
Габаритные размеры	5х5мм

ЧЭ МЭМС акселерометр 50g

Характеристика	Значение
Количество осей	1
Диапазон измерения ускорения	±50g
Габаритные размеры	5х5мм

Разработаны структуры схем управления такими датчиками (ASIC), промоделирована работа таких схем и разработаны негабаритные макеты ASIC на дискретных компонентах и микроконтроллерах. Для оценки параметров таких датчиков и экспериментального определения параметров моделей погрешностей совместно с АОМЗ разработаны и отлажены специальные стенды (трёхосевые, одноосевые, с термокамерами и вибростендами).

Рис. 1. Одноосевой стенд

Рис. 2. Трёхосевой стенд

Совместно разработанное ПО позволяет на таких стендах проводить дистанционные измерения в течение длительного времени по изменяющимся программам.

Кроме того, специалисты НТЦ «Техноцентр» обладают опытом построения БИНС как автономного типа, так и гибридного, с коррекцией от спутниковых навигационных систем.